半導(dǎo)體芯片制造中，水里的雜質(zhì)哪怕很少，都可能讓整個(gè)晶圓廢掉。超純水是生產(chǎn)的關(guān)鍵，羅門(mén)哈斯 UP 系列拋光樹(shù)脂在這一環(huán)節(jié)作用很大，不是因?yàn)槠放茐艛啵撬男阅軇偤媚軡M足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的特殊要求。
一、極高的純凈度
半導(dǎo)體工廠需要的超純水，電阻要穩(wěn)定在 18兆歐以上，水里的離子濃度得非常低。羅門(mén)哈斯 UP6040 樹(shù)脂用特殊工藝生產(chǎn)，能讓硅、硼等難去除的離子殘留量很少，普通拋光樹(shù)脂達(dá)不到這個(gè)水平。
它的陽(yáng)樹(shù)脂和陰樹(shù)脂按一定比例提前混合好，顆粒大小控制得好，不會(huì)因?yàn)橹亓Ψ珠_(kāi)，水流過(guò)的時(shí)候能一直保持好的交換效果。在較高的水流速度下，UP 系列還能穩(wěn)定工作，傳統(tǒng)混床樹(shù)脂在流速稍高時(shí)就容易出現(xiàn)離子泄漏。半導(dǎo)體工廠需要 24 小時(shí)不斷供水，這種穩(wěn)定性很重要。
二、抗干擾和適配生產(chǎn)工藝
半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)的前端處理有時(shí)會(huì)不穩(wěn)定，羅門(mén)哈斯 UP 系列能更好地應(yīng)對(duì)這種情況。當(dāng)進(jìn)水的有機(jī)碳濃度突然升高時(shí)，UP6150 的處理能力下降得比同類產(chǎn)品少，還能較快恢復(fù)。這是因?yàn)樗念w粒大小分布較廣，大顆粒起支撐作用，小顆粒能快速交換，相互配合。
三、不再生設(shè)計(jì)的好處
半導(dǎo)體工廠的終端精制混床一般不再生，UP 系列的設(shè)計(jì)正好適合。傳統(tǒng)可再生樹(shù)脂再生時(shí)，容易留下再生劑，而 UP6040 出廠前已經(jīng)完全再生好，沒(méi)有這個(gè)問(wèn)題。使用可再生樹(shù)脂的混床，每次再生后，接下來(lái)的一段時(shí)間里芯片的缺陷率會(huì)上升，而 UP 系列能穩(wěn)定使用較長(zhǎng)時(shí)間。
四、產(chǎn)業(yè)中的使用慣性
半導(dǎo)體制造有一套認(rèn)證體系，對(duì)拋光樹(shù)脂的長(zhǎng)期穩(wěn)定性有嚴(yán)格要求。羅門(mén)哈斯做這行很久，UP 系列被很多大型晶圓廠使用，形成了從設(shè)備匹配到工藝參數(shù)的完整體系。換用其他樹(shù)脂，需要重新做幾個(gè)月的工藝驗(yàn)證，期間可能因?yàn)楫a(chǎn)品合格率波動(dòng)造成很大損失。
不是說(shuō)不能用其他樹(shù)脂替代，但成本太高。有國(guó)內(nèi)晶圓廠試過(guò)用國(guó)產(chǎn)樹(shù)脂，剛開(kāi)始水質(zhì)沒(méi)問(wèn)題，但用了半年后，硅的泄漏量變高，導(dǎo)致一大批晶圓報(bào)廢，損失很大。UP 系列經(jīng)過(guò)多年驗(yàn)證，用它風(fēng)險(xiǎn)相對(duì)較小。
所以，羅門(mén)哈斯 UP 系列能被半導(dǎo)體工廠廣泛使用，根本上是因?yàn)榘雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)追求零缺陷，對(duì)超純水的要求極高。UP 系列雖然不是完美的，但在純凈度、穩(wěn)定性和適配生產(chǎn)工藝上，目前表現(xiàn)較好。對(duì)于高精度的芯片制造來(lái)說(shuō)，它能保障超純水的質(zhì)量，是技術(shù)和實(shí)際生產(chǎn)需求結(jié)合的選擇。
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